Con el rápido desarrollo y la aplicación de la nanotecnología es cada vez más generalizada, micromáquinas, la tecnología MEMS y el correspondiente micromecanizado de precisión, micro-partes y la tecnología de fabricación de precisión de micro-mecánica ha obtenido un rápido desarrollo. Con el fin de producir piezas en miniatura y, procesamiento de micro-mecánica micro-mecánica de rápido desarrollo, ahora se ha llegado a un nivel alto. EDM sutil, sutil vibración ultrasónica mecanizado, sutil mecanizado láser excimer, moldeo de plástico y otra sutil se utilizan para el mecanizado de precisión de componentes micro-mecánica a escala micrométrica. Además, el desarrollo de un número de la nueva tecnología específica, tal como la estereolitografía, la tecnología LIGA, los procesos de la capa de sacrificio. Y se ha desarrollado un micro-mecánica y tecnología de micro-fábricas de maquinaria automática de montaje y similares. El siguiente es un resumen de los últimos avances de la tecnología de precisión de micro-mecanizado.