Microscopio de fuerza atómica (AFM) punta de la sonda se utiliza generalmente materiales duros (por ejemplo, diamante o material Si3N4), la punta de la sonda se puede utilizar directamente en la superficie de la scribing espécimen, de modo que la forma de la punta de acuerdo con los requisitos de tamaño de la microestructura escanear a través de un control preciso de la punta de la fuerza para controlar la profundidad de puntuación, se puede obtener la estructura exacta forma con los requisitos gráficos diminutos. AFM también puede ser precisa la medición en línea con el fin de garantizar la exactitud de trazado de la pieza de trabajo.